艾明坷科技（北京）有限公司

手套箱功能

1、密闭循环：真空手套箱和气体净化系统构成一个密闭的循环系统，由气体净化系统提供气体循环动力。

2、人机对话：配置彩色触摸屏，中文界面，实现人机对话，操作便捷

3、自动控制（由彩色触摸屏的人机界面和PLC程序控制系统集成对系统进行控制）

实现功能：手/自动控制箱体压力；

手/自动控制气体净化系统的净化状态；

自动控制气体净化系统的还原过程；

手/自动净化系统还原、净化及转换净化柱（配置双净化柱时）；

自动箱体气氛报警；

箱体内气氛和压力参数设置和手/自动转换；

气体净化系统自动控制功能的参数设置；

查阅系统历史纪录；

气体净化系统执行机构工况检测；

程序控制系统的操作错误和警告提示

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手套箱操作前的工作

1、检查氮气瓶里是否有氮气，氮气要及时更换，氮气的输出压力设定为0.5mpa。

2、检查真空泵是否正常开启。

3、检查手套箱内循环是否打开。（净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个）

4、检查设定里的上限压力应为+1，下限压力为0

5、检查氧和露1点是否正常（氧为0.1ppm以下，露1点-40以上）

6、过度舱真空泵应处于常开状态

真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；求非常严格，不论在先前测试或组装，都必须在水、氧值浓度极低的环境下进行，例如手套箱水、氧值浓度小于1PPM。在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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